平(ping)(ping)面度(du)(du)(du)，是屬于形(xing)位公(gong)差中(zhong)(zhong)的(de)一種，指物體表面具有(you)的(de)宏觀凹凸(tu)高度(du)(du)(du)相對理想平(ping)(ping)面的(de)偏差。在傳統的(de)檢測(ce)方法(fa)中(zhong)(zhong)，平(ping)(ping)面度(du)(du)(du)的(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)通常有(you)：塞規/塞尺(chi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)、液平(ping)(ping)面法(fa)、激光平(ping)(ping)面干(gan)涉儀(yi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)（平(ping)(ping)晶干(gan)涉法(fa)）、水平(ping)(ping)儀(yi)/數(shu)字水平(ping)(ping)儀(yi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)、以及打(da)表測(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)。
塞尺測量法(fa)，只(zhi)(zhi)需一套可隨身(shen)攜(xie)帶的塞尺就(jiu)可隨時隨地進行(xing)平面(mian)度的粗(cu)測。目(mu)前很(hen)多工廠仍使用該(gai)方法(fa)進行(xing)檢(jian)測。由于其精度不高，常規(gui)最薄塞尺為(wei)10um，檢(jian)測效率較低，結果不夠全面(mian)，只(zhi)(zhi)能檢(jian)測零件邊緣。
液(ye)平(ping)(ping)面(mian)法，基于(yu)連通器工作(zuo)原理(li)，適合(he)測(ce)量(liang)連續(xu)或(huo)不連續(xu)的(de)大平(ping)(ping)面(mian)的(de)平(ping)(ping)面(mian)度(du)，但測(ce)量(liang)時間長，且對(dui)溫度(du)敏感，僅(jin)適用于(yu)測(ce)量(liang)精度(du)較低(di)的(de)平(ping)(ping)面(mian)。
激光平面(mian)干涉儀測量(liang)法，最(zui)典(dian)型的(de)用法是平晶干涉法。但主要于測量(liang)光潔的(de)小(xiao)平面(mian)的(de)測量(liang)，如千分頭測量(liang)面(mian)，量(liang)規的(de)工(gong)作面(mian)，光學透鏡。
水平儀測量法，廣(guang)泛用于工件表面(mian)的直線度和(he)平面(mian)度測量。測量精度高、穩定性(xing)好、體積(ji)小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位(wei)置，記(ji)錄各測點的數(shu)據，費(fei)時、費(fei)力，調整時間長(chang)，數(shu)據處(chu)理程(cheng)序繁(fan)瑣。
打表測量法，典型(xing)應用為平(ping)板測微儀(yi)及三坐標(biao)儀(yi)，其中優以三坐標(biao)儀(yi)為應用最廣泛。測量時指示器在待(dai)測樣品上移動，按選定(ding)的(de)布點(dian)測取各測量點(dian)相對于測量基準的(de)數據，再經過(guo)數據處(chu)理評定(ding)出平(ping)面度誤(wu)差。但其效率較低(di)，通常一個樣品需要幾分(fen)鐘，離(li)15ppm的(de)期望相差甚遠。
激(ji)光測(ce)(ce)(ce)量儀：嘉騰(teng)新(xin)開發平面(mian)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量儀FS5030系列，采用(yong)(yong)高(gao)(gao)精度(du)(du)大理石(shi)基座及平板保證極高(gao)(gao)的平面(mian)精度(du)(du)以(yi)及穩(wen)(wen)定(ding)性和剛(gang)性.精密研磨級滾珠絲桿(gan)及線性導軌,配(pei)松下(xia)伺服(fu)馬(ma)達具(ju)有高(gao)(gao)速精確的定(ding)位以(yi)及運動的穩(wen)(wen)定(ding)性.人(ren)性化的人(ren)機界面(mian),配(pei)專(zhuan)用(yong)(yong)全自動平面(mian)測(ce)(ce)(ce)量軟件,可(ke)(ke)編程(cheng)自動檢測(ce)(ce)(ce),大大提高(gao)(gao)測(ce)(ce)(ce)量效率(lv).含基恩(en)士(shi)LK-G10或(huo)LKG30激光，可(ke)(ke)以(yi)快速測(ce)(ce)(ce)量平整度(du)(du)，伯恩(en)光學、合力泰(tai)等玻璃行業公(gong)司，目前都在采用(yong)(yong)嘉騰(teng)新(xin)開發的平面(mian)度(du)(du)檢測(ce)(ce)(ce)儀，大大節約人(ren)工成本，提供測(ce)(ce)(ce)量效率(lv)以(yi)及檢測(ce)(ce)(ce)精度(du)(du)。
