JT-PRB白光干涉三維形貌儀(yi)
【產品(pin)簡介(jie)】
JT-PRB系列(lie)白光干涉三(san)(san)維(wei)形貌儀是采用國外(wai)最先進的(de)白光干涉掃描技術研(yan)制(zhi)的(de)納米量級(ji)形貌測(ce)(ce)量儀器，透過精密的(de)掃描系統和自主(zhu)專利(li)的(de)解析算法，進行樣(yang)品表面(mian)微細形貌的(de)量測(ce)(ce)與(yu)分析。表面(mian)顯微成像能(neng)力與(yu)高精度測(ce)(ce)量的(de)完美結合，只需數秒鐘，就能(neng)觀測(ce)(ce)到表面(mian)的(de)三(san)(san)維(wei)輪廓、臺階高度、表面(mian)紋理、微觀尺寸(cun)以(yi)及包(bao)含各類參數的(de)測(ce)(ce)量結果。
系統采用氣(qi)浮(fu)式隔振模(mo)塊、堅(jian)固的(de)花崗(gang)巖和鋼結構支撐，具有出(chu)色(se)的(de)穩(wen)定性(xing)。測量(liang)(liang)過程簡便而快速，只需把被測物體放(fang)置到載物臺，聚焦出(chu)干涉條紋，按下測量(liang)(liang)按鈕(niu)即可開始整個(ge)測量(liang)(liang)過程。
標準配置(zhi)采用(yong)六軸手(shou)動調(diao)(diao)整的(de)載(zai)物平臺(tai)，可依據不(bu)同測(ce)試要(yao)求做彈性(xing)調(diao)(diao)整，并(bing)可選配電動載(zai)物平臺(tai)，以實現(xian)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大(da)面(mian)積高精度的(de)量測(ce)要(yao)求，樣品(pin)均(jun)不(bu)需前處理(li)即(ji)可進(jin)行(xing)非破壞、高精度、快速的(de)表面(mian)形貌測(ce)量和分析(xi)。
【系統構成】
☆ 光學照明(ming)系(xi)統 采(cai)用(yong)鹵(lu)素光源、中心波(bo)長為576nm、光譜(pu)范圍(wei)340nm—780nm
☆ 光學成像系統(tong) 采(cai)用無限(xian)遠光學成像系統(tong)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂(chui)直掃(sao)描系統 采用閉(bi)環反饋控制方式驅動顯(xian)微物鏡垂(chui)直移(yi)動、移(yi)動范(fan)圍(wei)0-500μm、位置移(yi)動精度(du) 0.1nm
☆ 信(xin)號(hao)處(chu)理(li)系(xi)統 計算機和(he)數字信(xin)號(hao)協處(chu)理(li)器組成、采集(ji)系(xi)列(lie)原(yuan)始圖像數據使用專用數字信(xin)號(hao)協處(chu)理(li)器完成數據解析
【工(gong)作原理】
白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)三維形貌儀是利(li)用光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)干(gan)涉(she)(she)原(yuan)理研制開發的(de)(de)超精密表(biao)面輪廓測量儀器。照明光(guang)(guang)(guang)(guang)束經半反半透分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)鏡分(fen)成兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)，分(fen)別(bie)投射到(dao)樣品表(biao)面和參考鏡表(biao)面。從兩(liang)個表(biao)面反射的(de)(de)兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)再次通過分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)鏡后合(he)成一束光(guang)(guang)(guang)(guang)，并由(you)成像(xiang)系統在CCD相(xiang)機(ji)感(gan)光(guang)(guang)(guang)(guang)面形成兩(liang)個疊加的(de)(de)像(xiang)。由(you)于兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)互干(gan)涉(she)(she)，在CCD相(xiang)機(ji)感(gan)光(guang)(guang)(guang)(guang)面會觀(guan)察到(dao)明暗相(xiang)間的(de)(de)干(gan)涉(she)(she)條(tiao)紋(wen)(wen)。干(gan)涉(she)(she)條(tiao)紋(wen)(wen)的(de)(de)亮度取決于兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)，根據白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)條(tiao)紋(wen)(wen)明暗度以及干(gan)涉(she)(she)條(tiao)文出現的(de)(de)位置解析(xi)出被測樣品的(de)(de)相(xiang)對高(gao)度。
相關產品：
二次元影像(xiang)測(ce)量儀 全自動影像測量儀 工具顯微鏡 測量投影儀
