導軌是
三坐標測量儀主機結構的重要組成部分，是
三坐標測量儀實現三維運動必要的組成部件，也是保證三坐標平穩、高精度運動的關鍵部件。三坐標測量機多采用滑動導軌、直線滾珠導軌和氣浮導軌，其中使用最多的是直線滾珠導軌和氣浮導軌。現在，我們就來了解下這兩種較為常用導軌。
一． 直線滾珠導軌
采用直線滾珠導軌的優點是省去全套壓縮空氣設備及氣動控制組件，成本較低，適于無氣源的環境。它剛性較好，承載能力強，比簡單的滾珠軸承，受個別滾珠疵瑕的影響要小，有一定的勻差效應。但由于鋼球及導軌原因，該結構的測量機精度稍低，摩擦力較大，因而控制性能亦與氣浮導軌特性不同。它的安裝、調整找正對整機的性能的影響亦較大。
二、氣浮導軌
氣浮導軌的核心是氣浮軸承（空氣軸承），利用氣浮軸承小孔節流形成氣腔內的高壓，在導軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄膜。氣浮導軌具有無摩擦及無磨損的特性，由于勻差效應，運動的局部直線度及角度擺動較小。精度較高的三坐標測量儀一般采用氣浮導軌。
氣浮軸承的性能有4個要求：抗氣振能力、、耗氣量、即承載能力，承載剛性（氣浮間隙每變化一微米承載能力的變化）。其他的要求還包括防銹性能、安裝的工藝性，支承等的載荷設計亦不能忽略。對超高精度測量機，氣浮間隙及氣腔壓力的穩定至關重要，超高精度測量機往往設置氣浮軸承壓力檢查引出孔。
三坐標測量機導軌質地較脆，保養要用酒精和脫脂棉擦拭，一定要注意不要在導軌上放置零件和工具，以免造成碰傷。相對來說，三坐標測量機導軌非常脆弱，需要我們細心呵護。
