據報道，維也納(na)技術大學(xue)（TU Wien）的研究人員(yuan)開(kai)發了一種(zhong)輕型光學(xue)系統，用于對表(biao)(biao)面進行微米級精度的三(san)維（3D）檢測(ce)。該測(ce)量工具可(ke)以(yi)大大加強高科技產(chan)品(pin)的質量控制檢查，包括半導體芯片、太陽能電池板(ban)和消費(fei)電子產(chan)品(pin)，如平(ping)板(ban)電視(shi)。這項研究發表(biao)(biao)在《應用光學(xue)》（Applied Optics ）雜(za)志上。
研(yan)究人(ren)員(yuan)將共焦(jiao)傳(chuan)感器與一個高(gao)度集成的快速轉(zhuan)向鏡(jing)相結(jie)合，測(ce)量直徑僅為32毫米。他們(men)還開發了一種重(zhong)建過(guo)程，利(li)用測(ce)量數據創(chuang)建樣(yang)(yang)品(pin)(pin)表面形貌的3D圖像。3D測(ce)量系(xi)統(tong)非常緊湊，可(ke)以安裝(zhuang)在計量平臺上，作為與機械臂的連接(jie)，并(bing)通過(guo)主(zhu)動反饋控(kong)制補償樣(yang)(yang)品(pin)(pin)和測(ce)量系(xi)統(tong)之間(jian)的振動。
“這(zhe)個系統最(zui)終會給高科技(ji)制造業帶來各種(zhong)好處(chu)，”Wertjanz說。“在線測量可(ke)以(yi)實現零故(gu)障生產過程，這(zhe)對小(xiao)批量制造特別有(you)用。這(zhe)些信息(xi)還可(ke)以(yi)用于優化制造工藝和機床設置，從而提高整體產量。”
研究人員目前正致力于在計量平臺上落地應用該系統，并將其與機械臂結合。這將使他們能夠測試基于機器人的精密三維測量的可行性，在容易振動的環境中，如工業生產線上的自由曲面。forwarderexpress.com
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